ISO 14644: 2015年に公表された規格
|
ドキュメント |
|
|
タイトル |
ステータス |
説明 |
|
ISO 14644-1 |
|
|
粒子濃度別空気清浄度の分類 |
ANSI規格2015 |
クリーンルームおよび制御環境下における空気清浄度の分類 |
|
|
|
粒子濃度別空気清浄度に関するクリーンルームの性能モニタリング |
ANSI規格2015 |
現行ISO 14644-1準拠状況に関する、クリーンルーム／クリーンゾーンのモニタリングおよび定期試験要件 |
|
|
ISO 14644-3 |
|
|
試験方法 |
ANSI規格2005 |
クリーンルームおよびクリーンゾーンの気中浮遊粒子の清浄度の分類における試験方法の定義 |
|
ISO 14644-4 |
|
|
設計、施工およびスタートアップ |
ANSI規格2001 |
クリーンルーム設置に関する設計、施工要件 |
|
ISO 14644-5 |
|
|
操作 |
ANSI規格、2004年8月 |
クリーンルームの運転に関する基本要件 |
|
ISO 14644-7 |
|
|
隔離装置（クリーンエアフード、グローブボックス、アイソレータ―、ミニエンバイロメント） |
ANSI規格、2004年11月 |
隔離装置の設計、施工、設置、検査および承認のための最小限の要件 |
|
ISO 14644-8 |
|
|
化学物質濃度別空気清浄度の分類（ACC） |
ANSI規格2013 |
クリーンルームおよび制御環境下における浮遊分子状汚染物質（AMC）の分類 |
|
ISO 14644-9 |
|
|
表面粒子の清浄度の分類 |
ANSI規格2012 |
クリーンルームおよび制御環境下における、粒子濃度別固体表面の清浄度レベルの分類 |
|
ISO 14644-10 |
|
|
化学物質濃度別表面清浄度の分類 |
規格2013 |
化合物／化学物質の存在に関連した、クリーンルームの表面清浄度の分類システム |
|
ISO/DIS 14644-13 |
|
|
粒子および化学物質の分類に基づく、規定レベルの清浄度達成のための表面の洗浄 |
DIS、2016年2月 |
クリーンルーム、物質、および装置表面の洗浄の要件 |
|
ISO/FDIS 14644-14 |
|
|
気中浮遊粒子濃度別、装置使用の適合性評価 |
FDIS、2016年5月 |
クリーンルームおよび制御環境下での使用に関する、装置の適合性評価方法 |
|
ISO/DIS 14644-15 |
|
|
浮遊化学物質濃度別、装置および物質の使用の適合性評価 |
DIS、2016年4月 |
クリーンルームおよび制御環境下で使用される装置および物質に関する、浮遊化学物質の清浄度評価に関する要件およびガイダンス |