MET ONE 6000

気中パーティクルカウンターMET ONE 6000は、医薬品、半導体、ハードディスクドライブ、フラットパネル・ディスプレイ業界などのクリーンルーム環境の特有のニーズに対応可能な測定粒径・吸引量、通信オプションを備えたコンパクトなデザインで、連続粒子モニタリングのISO 2150に対応する精度を提供します。マルチパラメーターの測定法を組み込んだリモート型のため、初期コストを低減します。

  • 業界をリードする信頼性の高いオンライン微粒子測定
  • 施設内すべてのリモート型気中パーティクルカウンターのアプリケーションに対応
  • 測定粒径:0.3 µm/0.5 µm(吸引量:2.83 L/分/28.3 L/分)
  • 継続的なモニタリングを保証する長寿命レーザー採用
  • どのようなモニタリングシステムにも導入が可能
  • 既存のシステムとのシームレス通信を実現する、オープンアーキテクチャー設計
  • ボディ上部のランプの色と点滅が計測数アラームおよび警告を視覚的に通知
  • 相対湿度と室温の測定プローブオプション(相対湿度/室温のデータを微粒子計測データと同一のデータ列の中に統合)

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Tech Docs Part Number Product Name Description Flow Rate Particle Size Analysis Range List Price Buy
Down Exhaust|Analog Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

-

Down Exhaust|Ethernet Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Serial Interface|No Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|No Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Analog Interface|No Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Analog Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Serial Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Analog Interface| No Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Ethernet Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Analog Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Serial Interface|No Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Ethernet Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Ethernet Interface|No Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Analog Interface|No Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Serial Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Serial Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Serial Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Side Exhaust| Analog Interface| Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Serial Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Ethernet Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Side Exhaust|Analog Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Side Exhaust|Serial Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Side Exhaust|Analog Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust| Analog Interface
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust| Ethernet Interface
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust| Serial Interface
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Analog Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Ethernet Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Analog Interface|Flow Meter
28.32 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Down Exhaust|Serial Interface|No Flow Meter
2.83 L per minute
0.30|10.00|μm / 0.3|10|μm

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Down Exhaust|Serial Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Analog Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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Side Exhaust|Serial Interface|Flow Meter
2.83 L per minute
0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm

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特長

ISO 14644対応

  • ISO21501対応により、ISO14644の次の改訂版へも対応
  • 21CFR Part 11準拠のデータセキュリティ

無菌クリーンルーム

  • 無菌充填クリーンルームをすべて管理出来るよう明確に設計

半導体クリーンルーム

  • ISO 21501校正基準に完全準拠し、生産性を向上させる業界で最も正確な粒子計測

フラットパネル&ハードディスクドライブ用のクリーンルーム

  • フラットパネル製造における生産量の向上および異物混入問題の排除
  • 高品質をリードすると共に粒子計測1回あたりのコストを削減

製品仕様

Performance ISO 21501-4 unit-to-unit accuracy & reproducibility
Industry Standards ISO 21501-4 , ISO 14644-1:2015, FCC, CE
Light Source Long Life Laser™ Diode
Particle Size Analysis Range 0.50|10.00|μm / 0.5|10|μm
Flow Rate 28.32 L per minute
Coincidence Loss 10% at 20,000,000 particles/m3
Sample Volume 10.00|µm
Throughput 28.32 L per minute
Zero Count ISO 21501-4 & JIS B 9921 (1 count or less in 5 min; 95% UCL)
Count Alarms Display and Cycles User-defined alarm counts displayed via LED on box or remote LED
Item Specifications Referenced 2088615-DF-S

資料

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