MET ONE 6000P
リモート型 気中パーティクルカウンター
リモート型 気中パーティクルカウンター MET ONE 6000Pは、コストのかかる複雑な中央吸気システム (central vacuum systems) の不要な吸気ポンプを内蔵しており、精度と信頼性の高い連続粒子モニタリングが可能です。マイクロプロセッサで制御された吸気ポンプ内蔵のコンパクトな機器は、医薬品、半導体、ハードディスクドライブ、フラットパネルディスプレイの製造など様々なクリーンルーム管理においてISO 21501の精度を提供します。
- どこにでも設置可能な吸気ポンプ内蔵型
- コストのかかる中央吸気ポンプが不要
- 稼働中の微粒子計測の精度
- データの精度・信頼性に関する21 CFR Part 11対応の気流センサーを内蔵
- 測定粒径:0.3 µm/0.5 µm(吸引流量:0.1 cfm/1.0 cfm)
- 持続的なモニタリングを保証する長寿命レーザーダイオード
- 施設のどのようなモニタリングシステムにも導入が容易
- パルス式、シリアルModbus、Ethernet、アナログ回線など複数の通信オプション
製品モデル
特長
標準規格への対応
- 21 CFR Part 11 準拠の流量センサー内蔵
- ISO 21501 のデータ精度と再現性に対応した0.5 µmの感度
- 21 CFR Part 11、FDA cGMPおよび EU GMP Annex 1 準拠
操作
- 迅速なトラブルシューティングとダウンタイムの短縮のための内蔵または外部ライトスタック
- 流量センサーが連続モニタリング操作時の信頼性を改善
- 定期的な校正/保守のための取り外しと再設置によるダウンタイムの短縮
導入
- FMSへの導入が容易な複数の通信オプション
- 吸引ポンプを制御するDPセンサー内蔵により導入コストとシステムの複雑さを低減
信頼性
- 内臓ポンプがシステム全体の信頼性を向上
- 連続モニタリングのための長寿命レーザーダイオード
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