MET ONE R4800/R4900

MET ONE R4800/R4900シリーズは、微粒子モニタリングシステムに手頃な価格で信頼性の高い正確なデータを提供します。粒径測定、吸引流量、通信オプションに柔軟に対応できるコンパクトな設計で、医薬品、半導体、ハードディスクドライブ、フラットパネルディスプレイ等の製造に関わるのクリーンルーム管理の特殊なニーズに対応します。

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特長

容易な導入

  • 標準的なRS-485シリアル通信(MET ONE R4800シリーズ)
  • 業界標準の4-20mAインターフェース(MET ONE R4900シリーズ)
  • ほとんどの工程環境に適合するステンレススチール製ボディ
  • 吸引チューブやDC電源、通信ケーブルの接続が容易なコンパクト設計

データ管理

  • 開始、中止、カウント数報告、位置番号送付などASCIIによる簡単なコマンド指示に対応
  • 本機の状態と2サイズの微粒子のカウント数をレポート
  • 継続モニタリング機能(オンライン版Particle Vision®およびCIMScan® )によるマルチプル・ディスプレイオプション

操作

  • 第1測定チャンネル上の検出カウントがユーザー設定レベルを上回るとアラームを表示 
  • 次の計測サイクル開始時に自動でアラームをリセット
  • 長期間優れた性能を維持する長寿命レーザー技術
  • 精密工程に近接した場所にも設置が可能なファンレス設計

柔軟性

  • 測定感度:0.5 um、吸引流量:1.0 cfm
  • 本体上部の接続部にあるステータスインジケーターがアラームを表示
  • RS-485で設定したプログラム(計測/待機時間、アラームレベル/遅延、スケーリング)が作動サイクルを通じて維持
  • 過酸化水素蒸気(VHP)耐性のセンサー

製品仕様

Particle Size Analysis Range 0.50|5.00|μm / 0.5|5|μm
Flow Rate 28.32 L per minute
Coincidence Loss 5% at 70,630,000 particles/m3
Throughput 28.32 L per minute
Count Alarms Display and Cycles User-defined alarm counts displayed via LED on box or remote LED
Item Specifications Referenced 2086895-04

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