MET ONE 3411

気中パーティクルカウンター MET ONE 3411は、吸引量28.3 L/分で高速サンプリング、タッチパネル方式の簡単な操作性を実現し、微粒子測定・管理に係わる時間を大幅に短縮しました。ホットスワップ可能なバッテリ駆動のため、測定を止めること無く使用できます。離れた場所からでも、斜めからでも、無灯下でも視読可能なカラー・高輝度タッチスクリーンにより、アイコンをタッチするだけの簡単操作が可能。メモリには最大5,000回の測定値を記憶でき、さまざまな通信(Ethernet、Serial、USB)をサポート。USBポートからフラッシュメモリを使ってデータダウンロードも楽々です。

  • 0.1 µmの測定感度(測定範囲:0.1 µm~1.0 µm)
  • ユニット間の正確性および再現性を保証する 21501 準拠
  • オプションのコレクターを用いた連続サンプリング
  • 微粒子の影響を最小化するため、作動中ファンを停止
  • 設置区域や場所を選ばず、動作パラメータの設定/再現のインターフェースが簡単

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Tech Docs Part Number Product Name Description Flow Rate Particle Size Analysis Range List Price Buy
Wireless
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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Gas Calibration
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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For HEPA Test
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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Wireless with Gas Calibration
28.32 L per minute
0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm

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特長

標準規格への対応

  • ISO 14644-1 Class 5 準拠のサンプリング
  • ISO 21501-4 に準拠した的確なベンチマークキング&トラブルシューティング

データ管理

  • ワイヤレス、Ethernet、シリアルおよびUSBによるデータ通信
  • 印刷またはペーパーレスによるデータ出力
  • オープンアーキテクチャー通信

操作

  • 粒径測定 最大6チャンネル(流速が2.83 L/Mの場合)
  • 連続サンプリングが可能
  • 長寿命レーザー技術による機能向上と動作コストの低減

アプリケーション

  • 半導体クリーンルームの等級分類およびモニタリング
  • 継続的な環境モニタリング
  • トラブルシューティング

製品仕様

Performance ISO 21501-4 unit-to-unit accuracy & reproducibility
Light Source Helium neon laser
Particle Size Analysis Range 0.10|5.00|μm / 0.1|5|μm
Flow Rate 28.32 L per minute
Coincidence Loss % at 1,765,000 particles/m3 (per ISO 21501-4 method)
Sample Volume 5.00|µm
Throughput 28.32 L per minute
Reporting EU GMP (2015), ISO 146441-1.2015, FS209E, BS5295, ISO 14644-1:1999
Zero Count ISO 21501-4 & JIS B 9921 (1 count or less in 5 minutes; 95% Upper Confidence Limit)
Counting Efficiency 50% at 0.1 μm (100% for particles > 0.15 μm per ISO 21501-4 & JIS B 9921)
Count Alarms Display and Cycles User-defined alarm counts, Raw counts: N/CF, N/CM, N/L in cumulative or differential mode
Item Specifications Referenced 2088800-01

Technical Documents