感度範囲0.3 μM ～10 μMにおいて、ISO 21501準拠キャリブレーションによる高いデータ精度と再現性を提供。製薬、半導体、ハードディスクドライブ、フラットパネルディスプレイ業界でのクリーンルーム運用要件に対応、どのような設備監視システムも簡単に統合可能。正確で信頼性の高い連続粒子モニタリング。長寿命レーザーダイオードによる、部品交換頻度の低減。先進の診断機能を搭載し、トラブルシューティング時間ならびにダウンタイムコストを削減。流量0.1 CFM (2.83LPM)、感度は0.1 CFM (2.83LPM)で0.3 μM、範囲は0.1 CFM (2.83LPM)で0.3 μM～10.0 μM。測定効率は0.3 μMで50%（±20%）（最小感度の1.5倍で100%±10%）。ISO21501-4に完全準拠。出力はシリアルポートRS-232。フロー仕様、側面排気、aa ASSYアップグレードに対応。